旋转涂布机+真空干燥机
作者：touchpanel时间：2013-05-15 来源：未知
[摘要]本机台装置于预涂布机后之连接机台，做一连串之药液涂布、减压干燥之动作。
机械概述
本机台装置于预涂布机后之连接机台，做一连串之药液涂布、减压干燥之动作。
旋转涂布机：
装置于预涂布机后，将药液涂布后之玻璃基板，以真空将玻璃基板吸着于SPIN之高速旋转台面，将药液以薄膜状态平均分布于玻璃基板表面。
真空干燥机：
衔接于旋转涂布机后，接续上流制程药液涂布后之玻璃基板，将其减压干燥。
| 各 项 规 格 表 | |
| 机 台 尺 寸 | 旋转涂布机： 长2040mm 宽1520mm 高1855mm 真空干燥机： 长1598mm 宽1180mm 高1800mm |
| 外 观 漆 色 | 白 铁 色（SUS304） |
| 电 源 | 旋转涂布机： 三相 AC220V 30A 50/60HZ 真空干燥机： 三相 AC220V 40A 50/60HZ |
| 玻 璃 尺 寸 | 300 × 350mm 厚度0.4 ~ 1.1mm |
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