国产OLED蒸镀机蓬勃发展，看看国产OLED蒸镀机厂商新闻

作者：未知时间：2020-03-12 来源：触摸屏与OLED网

[摘要]合肥欣奕华智能机器有限公司“OLED蒸镀系统关键技术研发团队”入选2019年合肥市“庐州产业创新团队”。

北京时间03月12日消息，中国触摸屏网讯，1. OLED蒸镀技术团队入选“庐州产业创新团队”

本文来自：http://www.51touch.com/lcd/news/dynamic/2020/0312/56533.html

国产OLED蒸镀机始终是突破行业之痛的关键所在，合肥欣奕华也一直在装备国产化的道路上不断努力。日前，中共合肥市委组织部发布了《2019年度合肥市“领军人才”“庐州英才”“庐州产业创新团队”拟入选名单公示》。合肥欣奕华智能机器有限公司“OLED蒸镀系统关键技术研发团队”入选2019年合肥市“庐州产业创新团队”（A档）。

自古庐州多才俊，“庐州产业创新团队”同样要求企业及其团队必须在相关技术领域有真材实料，所研发创新项目需要在技术上具有先进性，能够填补国内空白或处于国际先进、国内领先水平，并具有良好的产业化前景。

此次入选的OLED蒸镀技术团队所研发的OLED蒸镀机是OLED面板产线的核心设备，犹如OLED面板制程的心脏，因而对精密制造水平要求极高，长期被日韩企业所垄断。目前全球实力最强的OLED蒸镀设备供应商TOKKI, YAS, SNU, SNF 等企业皆来自日韩，其中TOKKI的技术实力远超过其他设备厂商，处于全球领先地位。但是由于TOKKI 产量不足，许多面板厂迫于市场产能指标压力纷纷退而求其次选择其他OLED设备供应商供货，使得全球OLED面板设备行业依旧充满活力和竞争力。

对于发展前景向好的OLED行业来说，蒸镀工艺绝对扮演着制约良品率高低的关键性角色。所谓OLED蒸镀，就是通过真空蒸镀机能够将OLED有机发光材料精准、均匀、可控地蒸镀到玻璃基板上。蒸镀机及蒸镀工艺是OLED屏生产过程中难度最高的环节之一。蒸镀机之所以难造，一方面由于对设备制造水平要求极高，另一方面因为这个设备是一个庞然大物。其真空生产线长约有100 米，设备运转时相当于大型电视屏幕的玻璃面板透过机械臂在几个工厂之间移动。行业共识，面板厂只有拥有了高性能的真空蒸镀机，才算是真正拿到了OLED屏生产的入场券。合肥欣奕华长久以来的努力，也正是致力于在发展如火如荼的OLED显示产业，让面板企业获得这张至关重要的入场券。

合肥欣奕华于2015年正式启动了OLED蒸镀系统关键技术研发项目，现已突破多项关键核心技术，且自主开发了第一款国产化OLED蒸镀机（G1型），并通过了安徽省新产品鉴定。公司建成了3万平米的OLED蒸镀机研制洁净车间，拥有各类先进研发设备和仪器20余台套，组建了一支国际化高端人才团队，形成了完善的OLED技术研发体系，在蒸发源、真空腔体、高精密对位、封装、工艺控制技术等方面，相关技术水平已达到国际先进水平，逐步追赶国外领先OLED设备制造企业。

截至目前，合肥欣奕华已与国内多家单位（包括高校实验室、器件制造企业、材料制造企业等）签订了OLED蒸镀设备采购或技术服务合同，并已完成了产品交付和技术验收；另外，公司研制的OLED蒸镀机核心部件已成功导入国内主要OLED面板制造企业的生产线，且已成功应用于客户量产。下一步，欣奕华将根据客户需求与计划，进行更深入、更全面的技术合作，为我国OLED面板制造企业提供国产化高性能的蒸发源系统、对位系统及量产型蒸镀机等产品。

2. 合肥莱德设备成功研发真空蒸镀机，填补OLED生产关键技术国内空白

在合肥合巢经开区合肥莱德设备技术有限公司的厂房里，公司董事长孔令杰博士指着几台样机告诉记者，他们已成功研制出从事OLED生产所必需的核心设备真空蒸镀机，填补了国内在这个领域的空白。

真空蒸镀机是OLED生产的核心设备，在生产OLED屏的过程中，要通过真空蒸镀机将OLED有机发光材料精准、均匀、可控地蒸镀到玻璃基板上，具有成膜方法简单、薄膜纯度和致密性高、膜结构和性能独特等优点。蒸镀机及蒸镀工艺是OLED屏生产过程中难度最高的环节之一，可以说，拥有了高性能的真空蒸镀机才算是真正拿到了OLED屏生产的入场券。

目前，全球的高端蒸镀机主要由日韩企业等垄断。孔令杰表示，OLED蒸镀机设备目前处于极度供不应求的状态，尤其是国内面板厂商对于高端蒸镀机的需求一直难以得到满足，想要买一台Tokki的产品，不仅价格极高，交付周期还很长，服务也得不到保障。“我们集结了OLED行业内面板厂、设备厂和材料厂等多位资深专家进行攻关，终于打破国外高端蒸镀机的垄断，研制出了性价比高的OLED真空蒸镀机。”孔令杰透露，目前他们已经接到几个国内大型OLED面板制造企业的意向订单，预计明年年中设备可以下线出货。

3. 中山凯旋真空科技这家国内企业宣称研发出OLED蒸镀机

OLED手机屏的生产环节主要包括五大步骤，分别是LTPS、蒸镀、封装、单元、模块。其中，蒸镀是至关重要的一步，简单说”蒸镀”就是用专门的蒸镀机在玻璃基板上“蒸出”包括红、绿、蓝三色的有机发光层。

然而，全世界能够生产高质量蒸镀机的企业少之又少，仅有少数日、韩企业能够生产出满足产业界要求的高端OLED蒸镀机。我国OLED领域的痛中之痛就是没有“自主的蒸镀机”。

为了解决蒸镀机这个痛点和难题，一家广东的国有企业——中山凯旋真空科技股份有限公司通过几年的不懈努力，终于研发出了拥有完全自主知识产权的OLED蒸镀机。据悉该机型命名为K-200，为OLED蒸镀领域的一代线，填补了国内自主OLED蒸镀机的空白。该机型采用团簇式布局，蒸镀基板尺寸为200*200mm2或者8 inch硅片，搭载精密对位系统，对位精度可达到1um（甚至以下），可配置3cc到40cc金属及有机各类蒸发源共8种，可以广泛用于OLED手机屏、VR显示屏、OLED白光照明面板的生产及研发。