索尼的柔性电子纸，利用印刷技术制作TFT
作者： TouchScreen 时间：2012-07-13 源于：日经技术在线 总点击：
【导读】：索尼的柔性电子纸，利用印刷技术制作TFT,对每层有机TFT，分别使用了平板胶印、旋涂及狭缝涂布3种印刷技术。仅用平板胶印法形成的是表面保护膜。像素电极在以溅射法成膜后，又用平面胶印形成了感光性树脂。
在目前发布的柔性电子纸中，索尼开发的13.3英寸有机TFT驱动产品最受关注（图A-1）。
图A-1：TFT也利用胶印法制作(图根据索尼的资料制作）
该产品为单色显示，采用了台湾E Ink Holdings的电子纸。像素为2130×1596，像素尺寸为127μm×127μm，分辨率为200dpi。开口率为82％。
有机TFT的半导体层采用被称为“PXX衍生物”（peri-Xanthenoxanthene）的自主开发的有机材料。载流子迁移率约为0.5cm2/Vs。
开发品的特点是其中的有机TFT是利用印刷技术制作的。对每层有机TFT，分别使用了平板胶印、旋涂及狭缝涂布3种印刷技术。仅用平板胶印法形成的是表面保护膜。像素电极在以溅射法成膜后，又用平面胶印形成了感光性树脂。有机半导体层用狭缝涂布法、栅极绝缘膜和层间绝缘膜用旋涂法成膜后，再利用普通光刻法形成图案。
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