韶阳科技股份有限公司
光罩清洗 MDMC-420*530/800*960
设备特色：
光罩清洗首重安全，稳定的设备环境，并能符合制程的清洁要求。并考虑节能省电与易操作的特性，创造客户利润
设备概要：
SPIN旋转清洗形式，有效去除光罩表面附着污物之洗净及去除
因应各种产品尺寸，更换固定治具即可作业，提升机台功能性
搭配超音波水洗清洗，去污力提升
触控屏幕接口人性化，操作简单，上手容易
依客制化需求可变更清洗流程
规格样式：
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MDMC-420*520 |
MDMC-800*960 |
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机台尺寸 |
2200(L)×1850(W)×2400(H)mm |
2900(L)×2200(W)×2400(H)mm |
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光罩尺寸 |
420(L)x520(W)x5(T)mm |
800(L)x960(W)x7.8(T)mm |
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旋转STAGE |
伺服马达驱动旋转，转速30~1000rpm |
伺服马达驱动旋转，转速30~600rpm |
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毛刷清洗 |
毛刷可依客户制程更换 |
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清洁毛刷清洗槽 |
毛刷动搭配超音波震荡做毛刷清洁 |
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超音波水洗系统 |
使用日制超音波 |
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CDA吹干机构 |
使用旋转及吹气方式 |
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控制系统 |
PLC |
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入出料型式 |
人工上下料 |
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