黄光制程用感光湿膜
对ITO玻璃与ITO膜均具有良好的粘附性,优秀的分辨率。
良好的涂布性,曝光宽容度好,线条清晰。
分辨率对比
测试条件
基板 | ITO玻璃 |
膜厚 | 1.62um |
前烘 | 100℃ x 90sec |
曝光 | 85mJ/cm2 |
显影 | 0.8% KOH x 60sec |
黄光制程用感光湿膜分辨率对比
ITO基板粘附性好
测试条件
基板 | ITO玻璃 |
膜厚 | 1.62um |
前烘 | 100℃ x 90sec |
曝光 | 60-100 mJ/cm2 |
显影 | 0.8% KOH x 60sec |
后烘 | 120℃ x 90sec |
蚀刻 | HNO3:HCl:H2O = 4:23:73 @ 40℃X 100sec |
黄光制程用感光湿膜ITO基板粘附性好
剥离性良好
测试条件
基板 | ITO玻璃 |
膜厚 | 1.62um |
前烘 | 100℃ x 90sec |
曝光 | 60-100 mJ/cm2 |
显影 | 0.8% KOH x 60sec |
后烘 | 不同温度 x 180sec |
蚀刻 | HNO3:HCl:H2O = 4:23:73 @ 50℃X 200sec |
剥离 | 3.0% NaOH @ 50℃ X 120sec |
黄光制程用感光湿膜剥离性良好